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日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

簡(jiǎn)要描述:● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

產(chǎn)品型號(hào): NRL60A/90A/180A

所屬分類:真空泵

更新時(shí)間:2024-08-23

詳細(xì)說(shuō)明:

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長(zhǎng)

● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

● 低噪音、低振動(dòng)

● 優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

● 選購(gòu)件

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

 

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)

◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

◆ 作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣



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